SHM800一体化散射套刻量测设备

SHM800

SHM800套刻测量设备基于散射光信号测量套刻误差。SHM800系列产品主要用于先进工艺（55nm~7nm）工艺段，可以实现快速、高精度的套刻测量，配合工艺控制系统和光刻机提升晶圆制造工程中套刻性能，改善工艺控制能力。